《複雜多重入半導體晶圓混合流程製造過程建模方法研究》是依託上海交通大學，由周炳海擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：複雜多重入半導體晶圓混合流程製造過程建模方法研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：周炳海
- 依託單位：上海交通大學
- 批准號：60574054
- 申請代碼：F0302
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：23（萬元）
項目摘要
隨著半導體集成製造技術的發展，其製造過程更加複雜，基於模型的半導體製造最佳化控制理論和方法越來越受到企業界和學術界的關注。本項目旨在採用屬於現代科學技術範疇的混合動態系統建模與仿真理論、知識表達方法、製造過程調度與控制理論來研究並解決以半導體製造業為代表的複雜多重入半導體晶圓混合流程製造過程的建模方法問題。在拓展和完善面向對象的混合Petri網的基礎上，提出基於知識表達的面向對象混合Petri網（KOHPNs）的建模原理和過程分析方法；為使建模方法適應製造過程的實時調度與控制，進行了基於KOHPNs模型支持多目標最佳化的動態調度機理的研究；建立基於KOHPNs模型的具有自治與協調能力的計算機仿真模型，並使之能進行KOHPNs模型驗證以及多目標調度算法分析。因此，通過本項目的研究可拓展知識表達的面向對象的混合Petri網建模理論，對提高我國半導體製造業的科學生產與管理水平具有重要的指導意義
