晶圓製造中的並行機調度

《晶圓製造中的並行機調度》是2019.12.01出版的書籍，作者：張潔。張朋。

基本介紹

• 中文名：晶圓製造中的並行機調度
• 作者：張潔、張朋
• 出版社：清華大學出版社 
• 出版時間：2019年12月1日 
• 定價：79 元
• ISBN：9787302536635 
• 外文名：Parallel machine scheduling in Wafer fabrication

內容簡介

晶圓製造系統由晶圓加工系統以及晶圓物料運輸系統組成，其中晶圓加工系統包括爐管區、光刻區、刻蝕區以及金屬化區等，每個加工區由若干台相同加工功能的設備組成；晶圓物料運輸系統由若干個加工站內物料運輸系統和一個加工站間物料運輸系統構成。因此，晶圓製造系統中存在著大量的並行運行設備。本書在系統全面介紹晶圓製造中的並行機調度問題和建模方法的基礎上，分別介紹了光刻機調度方法、爐管區調度方法以及物料運輸系統調度方法。同時介紹了晶圓製造中的並行機調度性能評價方法以及原型系統開發和套用。

目錄

第1章緒論

1.1半導體產業

1.1.1半導體產業的發展與現狀

1.1.2未來半導體產業面臨的挑戰

1.2晶圓製造流程

1.2.1沉積工藝

1.2.2光刻工藝

1.2.3刻蝕工藝

1.2.4離子注入工藝

1.3晶圓製造系統的構成

1.3.1晶圓製造加工系統

1.3.2晶圓製造物料運輸系統

1.4晶圓製造中的調度問題

1.4.1調度問題分類

1.4.2調度問題研究現狀

1.5晶圓製造中調度的重要意義

1.6本書的主要內容安排

第2章晶圓製造中的並行機調度問題

2.1引言

2.2晶圓製造中的並行機

2.2.1晶圓製造加工系統並行機

2.2.2晶圓製造物料運輸系統並行機

2.3晶圓製造中的典型並行機調度問題

2.3.1光刻機調度問題

2.3.2爐管區調度問題

2.3.3自動物料運輸小車調度問題

2.4晶圓製造並行機調度問題的特點

2.5晶圓製造並行機調度算法

2.6本章小結

第3章晶圓製造並行機調度問題建模

3.1引言

3.2晶圓製造加工系統建模

3.2.1基於數學規劃模型的晶圓製造加工系統建模

3.2.2基於排隊論模型的晶圓加工系統建模

3.3晶圓製造運輸系統建模

3.3.1基於複雜網路的晶圓製造運輸系統建模

3.3.2基於馬爾可夫模型的晶圓製造運輸系統建模

3.3.3基於仿真模型的晶圓製造運輸系統建模

3.4本章小結

第4章晶圓製造中的光刻機調度

4.1引言

4.2光刻機調度問題

4.2.1問題描述

4.2.2光刻機調度問題數學模型

4.3基於DSRPT規則的非等效並行機動態調度

4.3.1SRPT規則性能分析

4.3.2DSRPT線上調度規則設計

4.4基於遞階混合帝國競爭算法的光刻機調度算法

4.4.1時間視窗滾動策略

4.4.2編碼解碼策略

4.4.3遞階混合帝國競爭算法

4.5實驗驗證

4.5.1算法參數實驗

4.5.2關鍵影響因子分析

4.5.3算法性能對比實驗

4.6企業生產數據驗證

4.7本章小結

第5章晶圓製造中的爐管區調度

5.1引言

5.2晶圓製造爐管區並行批處理機線上調度

5.2.1爐管區並行批處理機線上調度問題描述

5.2.2爐管區並行批處理線上調度問題數學模型

5.3基於調度規則的爐管區調度

5.3.1組批階段啟發式算法

5.3.2批排序階段啟發式算法

5.3.3算法流程

5.4基於混合蟻群算法的爐管區調度

5.4.1基於混合蟻群算法的並行批處理機線上調度方法架構

5.4.2混合蟻群算法

5.5仿真試驗與分析

5.5.1算法參數設計

5.5.2對比實驗

5.6企業生產數據驗證

5.7本章小結

第6章晶圓製造中的物料運輸系統調度

6.1引言

6.2晶圓製造中的整體式物料運輸系統調度問題

6.2.1物料運輸系統的類型

6.2.2整體式物料運輸系統調度

6.3整體物料運輸系統的兩階段調度方法

6.3.1OHT小車的派工方法

6.3.2運輸路徑動態規劃方法

6.4基於蟻群算法的小車派工與路徑規劃集成調度方法

6.4.1小車派工與路徑集成最佳化問題

6.4.2基於蟻群算法的OHT小車運輸任務指派方法

6.4.3基於時空網路的運輸路徑規劃方法

6.5算例驗證

6.5.1蟻群算法的參數實驗

6.5.2調度方法性能對比實驗

6.5.3路徑規劃方法對調度算法性能的影響

6.6本章小結

第7章晶圓製造並行機調度性能評估

7.1引言

7.2晶圓製造並行機調度性能評價指標

7.3晶圓製造加工系統調度性能評估

7.3.1基於仿真的晶圓製造加工系統調度性能評估

7.3.2基於面向Agent的有色賦時Petri網的晶圓製造

加工系統調度性能評估

7.4晶圓製造運輸系統性能評估

7.4.1基於仿真的晶圓製造物料運輸系統調度性能評估

7.4.2基於Petri網模型的晶圓製造物料運輸系統

調度性能評估

7.5本章小結

第8章晶圓製造調度系統並行機調度模組

8.1引言

8.2套用背景及需求分析

8.2.1套用背景

8.2.2需求分析

8.3並行機調度模組總體設計

8.3.1總體結構

8.3.2資料庫設計

8.3.3用戶界面設計

8.4調度模組詳細設計

8.4.1基礎信息管理

8.4.2車間並行機線上調度

8.4.3生產過程管理

8.5套用實例

8.5.1可重入並行機調度

8.5.2光刻機調度

8.5.3爐管區調度

8.5.4物料運輸系統調度

8.6本章小結

索引

參考文獻

附錄A英漢排序與調度辭彙