《性能驅動的半導體生產線閉環最佳化動態調度方法研究》是依託同濟大學，由李莉擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：性能驅動的半導體生產線閉環最佳化動態調度方法研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：李莉
- 依託單位：同濟大學
中文摘要,結題摘要,
中文摘要
隨著半導體工藝的快速發展，其生產環境的不確定性與生產流程及工藝約束的複雜度不斷提高，調度面臨著新的挑戰，迫切需要能夠實時回響動態運作環境、滿足工藝約束、獲得期望運作性能的動態調度方法。本項目將此需求凝鍊為性能驅動的閉環最佳化動態調度科學問題，綜合運用群體智慧型、數據挖掘、系統仿真等方法技術，建立學習樣本生成、性能建模、自適應動態調度的求解流程，確立性能驅動的閉環最佳化動態調度的實現框架；研究突破複雜數據預處理、智慧型數據分析、基於數據的建模與最佳化、複合優先權調度等關鍵技術；建立狀態-性能預測模型、(性能,狀態)-調度算法參數關係模型，提出耦合工藝約束滿足、柔性維護與動態派工的自適應閉環最佳化動態調度方法，構建聯結模擬、情景分析以及決策支持等環節的模擬實驗環境。本項目研究豐富和發展複雜生產系統調度理論，提出解決半導體生產線調度難題的新思路與新方法，為發現複雜生產系統調度新的最佳化手段提供科學依據。
結題摘要
隨著半導體工藝的快速發展，其生產環境的不確定性與生產流程及工藝約束的複雜度不斷提高，調度面臨著新的挑戰，迫切需要能夠實時回響動態運作環境、滿足工藝約束、獲得期望運作性能的動態調度方法。本項目將此需求凝鍊為性能驅動的閉環最佳化動態調度科學問題。首先，聚焦現代半導體生產線調度特點及半導體製造商實際需求，確立性能驅動的半導體生產線閉環最佳化動態調度實現框架；其次，提出耦合工藝約束滿足、柔性維護與動態派工的動態調度規則；再次，基於多層次信息融合的數據分析框架，建立狀態—性能預測模型；然後，綜合運用深度學習、集成學習等方法技術，建立(性能,狀態)—參數關係模型，形成帶有閉環最佳化特徵的半導體生產線自適應動態調度方法；最後，以實際生產線為背景，研發半導體生產線運作模擬實驗環境，該環境具有與實際半導體生產線“平行”的能力，用於學習樣本的生成與提出方法的驗證最佳化。本項目豐富和發展了複雜生產系統調度理論，提出了解決半導體生產線調度難題的新思路與新方法，為發現複雜生產系統調度新的最佳化手段提供了科學依據。
