光譜式橢偏儀

光譜式橢偏儀是一種用於物理學、化學領域的分析儀器，於2013年01月06日啟用。

基本介紹

• 中文名：光譜式橢偏儀
• 產地：匈牙利
• 學科領域：物理學、化學
• 啟用日期：2013年01月06日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線衍射儀

技術指標

光譜範圍：深紫外，可見光，近紅外（190nm~2400nm）波長解析度：全譜段要求不大於0.5nm厚度測量範圍:1nm-10um,厚嫌槓項度測量精度:0.1A微光斑全自動操講背阿作。

主要功能

測量各類（包括電介質、槳斷洪祖有機物、半導體、金屬等）薄膜（包括透明基底上的透明薄膜）的膜厚及介電常數（n，k）、組分比等；對材料的各向異性、多層膜、膜層緻密性、多孔材料、葛戶擊譽高分子薄膜等協碑棕特殊結滲雄構的材料具有光學性能的分析能力，可以殼巴精測量薄膜的反射率、透射率、各向異性、雙折射、散射、偏振、Muller矩陣等。