三維光學顯微鏡是一種用於信息科學與系統科學、力學、物理學領域的分析儀器，於2015年6月7日啟用。
基本介紹
- 中文名：三維光學顯微鏡
- 產地：德國
- 學科領域：信息科學與系統科學、力學、物理學
- 啟用日期：2015年6月7日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1.Z軸解析度： ≤ 0.1nm； 2.RMS重複性 ：≤ 0.01nm； 3.垂直測量範圍：0.1nm至10mm; 4.垂直掃描速度：47μm/s； 5.干涉物鏡：2.5倍，20倍； 6.干涉物鏡工作距離：3.5mm； 7.放大目鏡：2倍，1倍，0.55倍； 8.Z軸工作範圍100mm； （*）動態性能測量部分: A.驅動頻率：0Hz (靜態); 11Hz to 2.4MHz； B.垂直解析度：0.1nm； C.水平解析度：700nm； D.水平位移解析度：0.1 像素； E.頻率解析度：頻率的0.0005%； F.相位解析度：≤10kHz時0.018°; 100kHz時0.18°; 1MHz時1.8°; 2.4MHz時4.3°； G.相位範圍：0 至 720° (連續)； H.驅動頻率波形：DC, 正弦波, 三角波, 方波, 自定義。
主要功能
可以進行全面的三維表面分析，能夠實時表征被測對象的動態形態，設備運用白光干涉的原理，能夠以非接觸的方式測量激勵狀態下微納器件表面三維形貌特徵。
