OLYMPUS OLS3100研究級雷射共焦顯微鏡備有常規顯微鏡，並有BF，DF，DIC等多種觀察方法，是一種高精度測量設備。
基本介紹
- 中文名：OLYMPUS OLS3100
- 品牌：OLYMPUS
- 型號：OLS3100
- 性質：一全方位精密量測觀察設備
簡介,功能特點,
簡介
OLYMPUS OLS3100研究級雷射共焦顯微鏡備有常規顯微鏡的功能，並有BF，DF，DIC等多種觀察方法。它以405nm短波長半導體雷射為光源,通過顯微鏡內高精度掃描裝置對樣品表面的二維掃描，獲得水平解析度高達0.12μm的表面顯微圖像,通過顯微鏡高精度步進馬達驅動和5nm光柵控制的聚焦裝置，運用共聚焦（Confocal），逐層獲取樣品各個二維圖像和焦面的縱向空間坐標。經計算機處理,將各個焦平面的顯微圖象疊加,獲得樣品表面的三維真實形態(近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像,將採樣數據運算後,可獲得亞微米級的線寬,面積,體積,台階,線與面粗糙度,透明膜厚，幾何參數等測量數據。可作為高精度測量設備，符合國際計量追溯體系（ISO）。附加金相外掛程式，可做金相分析。
功能特點
OLS3100雷射共焦顯微鏡，它是集光學顯微鏡及掃描於一身的表面精密檢查3D量測設備。採用最先進的UIS無限遠光學系統，能夠對亞微米表面結構進行非破壞性成像與測量，並不依賴樣本製備和複雜培訓，提供高解析度圖像，放大倍率高達14,400倍；並可依需求採用明暗視野、微分干涉、偏光等各種鏡檢法。LEXT橫向與縱向解析度分別是120nm和20nm。測量內容包括：線寬、步進高度、粗糙度、顆粒分析和薄膜測量。配合影像處理及精密量測系統，除了同一般顯微鏡可即時觀察外，也同時具備了電子掃描顯微鏡3D影像清晰、層次分明之特性(平面解析力達0.12μm，Z方向解析力達0.01μm) ，此一全方位精密量測觀察設備，可將掃描影像及光學影像作結合，得到真實的色彩表現掃描影像。
