三維掃描共聚焦顯微鏡是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2019年6月17日啟用。
基本介紹
- 中文名：三維掃描共聚焦顯微鏡
- 產地：奧地利
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2019年6月17日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 原子力顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
位移範圍：100mm×100mm×100mm；樣品表面結構：Ra＞9nm，Lc=2μm；最大樣品高度：100～345mm；最大樣品重量：30kg；最佳水平解析度：0.44μm；最佳垂直解析度：10nm；最大掃描高度：22.5mm；最大擴展視野範圍：10000mm2；最大單一方向掃描範圍：100mm；最小測量高度：0.01μm；最大測量高度：22.5mm；最大測量範圍：10000mm2；最大測量形貌長度：100mm；最小可重複性：0.001μm；最小測量粗糙度（Ra）：0.03μm；最小測量粗糙度（Sa）：0.015μm；最小測量半徑：1μm；最小測量垂直角度：20°。
主要功能
InfiniteFocus是一款高精度、高速度和高靈活性的光學三維測量系統。系統集三維微型三坐標測量工具和表面粗糙度測量設備為一體。通過使用同軸照明和最佳的LED環型燈，表面測量範圍可達幾乎無限大。另外，InfiniteFocus所有的坐標軸配備了高精度的編碼器保證了平台高精度的移動。用戶可實現高解析度、高重複性和高精度的可追溯源的測量。
