3D共聚焦顯微鏡

3D共聚焦顯微鏡是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2018年2月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D共聚焦顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2018年2月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

拍攝解析度不低於700萬像素；Z軸行程：50 mm垂直解析度：＜10nm 水平解析度： 0.2μm。

主要功能

用於測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。可針對如下需求開展測試：（1）檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的精密部件；（2）MEMS，微型器件的檢測，醫藥工程中組織結構的檢測，如基因晶片等；（3）半導體：檢測微型電子系統，封裝及輔助產品結構設計；（4）太陽能：電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量。