3D彩色雷射掃描顯微鏡是一種用於化學、材料科學、環境科學技術及資源科學技術領域的分析儀器，於2018年6月5日啟用。
基本介紹
- 中文名：3D彩色雷射掃描顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：化學、材料科學、環境科學技術及資源科學技術
- 啟用日期：2018年6月5日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1.綜合倍率: 28000 倍以下,最大拍攝分析率：3072×2304 2.視野 (最小觀察範圍):11 μm 至 5400 μm 3.幀頻率/雷射測量速度: 4 至120 Hz、7900 Hz 4.光學系統: 針孔共聚焦光學系統；光接收元件：光電倍增器、16 bit 5.感應掃描方式：自動上下限設定功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足補充功能(雙掃描) 6.高度測量：顯示解析度/線性標尺0.5 nm；動態量程 (來自工件的光接收量的適用幅度)16 bit； 重複精度σ 20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm； Z軸測量用記憶體1400 萬步驟；準確性0.2+L/100μm或更小(L=測量長度)；最大樣品高度28 mm, 128 mm (可選件)。
主要功能
本系統採用雷射共聚焦顯微測量技術，採用綠光光源，可實現最高200nm的解析度，可實現對材料表面微結構的形貌及結構尺寸的精確測量。
