3D雷射共聚焦形貌測量顯微鏡是一種用於物理學、化學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的分析儀器，於2014年7月8日啟用。
基本介紹
- 中文名：3D雷射共聚焦形貌測量顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：物理學、化學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
- 啟用日期：2014年7月8日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
光學變焦範圍：1-8倍；測定用雷射：408納米紫雷射；掃描頻率：4-120Hz（面掃描），7900Hz（線掃描）；受光素子： PMT鹵素燈；物鏡放大倍率：5，10，20，50，150；配自動測量軟體和粒度分析軟體（VK-H1XVE），X-Y 平面解析度要求到達200納米；Z軸掃描解析度要求達到10納米；觀測範圍大於5mm2；放大倍數需超過15000倍；可觀測薄膜等透明材料；可觀測透明液體；能自動對三維幾何形貌進行測量；對粗糙度可進行直接評價；可自動分析圖像，顯示顆粒粒度等； 測量頭可拆卸，直接安裝在大行程運動平台上；高清彩色CCD拍攝圖片；可進行黑白和彩色兩種模式觀察； （8） 可通過多幅圖像的自動拼接以實現大面積物體的觀測。
主要功能
可對物體的原貌狀態在非破壞，非接觸，普通的環境下進行表面分析。最高的放大倍率在24000倍。圖像極限解析度最高位0.13μm。XY，寬度測量方向解析度可以到1nm；Z，高度測量方向解析度可到0.5nm。不需要在真空環境測量，可直接觀測，可採用3D模式對被測物形狀，粗糙度，表面積等進行測量，可做高度，寬度，橫截面，角度，R值，表面積，體積，線粗糙度，面粗糙度等進行測量。
