雷射共焦掃描顯微鏡是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器，於2014年7月6日啟用。
基本介紹
- 中文名：雷射共焦掃描顯微鏡
- 產地：德國
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2014年7月6日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
光學部分：光學變焦優於：1X~6X；物鏡放大倍數：至少包含5X,10X,20X,50X，及不小於100X以上，總放大倍數100~17000倍；長工作距離物鏡50X：工作距離10mm以上；物鏡轉盤：至少6個物鏡裝載孔，測量方便；最高倍物鏡的數值孔徑：不小於0.95；光源波長：405~410 。測量精度指標：XY軸：解析度優於120nm，重複精度優於20nm（3σ）；Z軸：解析度優於10nm，重複精度優於20nm（1σ），最大可容許測量高度不小於5mm。
主要功能
1、用於微觀三維形貌觀察與測量、微觀幾何尺寸的測量；要求設備具有不低於20nm的測量精度，快速高效的測量實現方法；2、具有金相分析功能及高精度3D形貌測量；2D真彩色照片拍攝和測量；表面輪廓曲線和三維輪廓曲面測量；面粗糙度測量；線粗糙度測量；顆粒分析測量；幾何測量和運算（高度、寬度、角度、半徑、面積、體積）；三維形貌圖像顯示。
