雷射共焦顯微鏡

雷射共焦顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2011年10月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射共焦顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2011年10月28日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

可實現最多500幅圖像自動拼圖，水平解析度12μm，z軸解析度0.01μm。

主要功能

測量亞微米級的線寬、線與面的粗糙度，透明膜厚等數據，原位觀察和獲取材料表面形貌，三維輪廓。