3D立體顯微鏡

3D立體顯微鏡是一種用於物理學、電子與通信技術領域的分析儀器，於2010年12月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D立體顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2010年12月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡

技術指標

倍率：108~17280倍；分辨能力：平面0.12μm，高度15nm。

主要功能

非接觸式、高解析度三維形貌測量。