由於二氧化矽(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能減少厚度以持續改善電晶體效能,因此過去40餘年來,處理器廠商均採用二氧化矽做為製作柵極電介質的材料。
基本介紹
- 中文名:High-K
- 外文名:High-K
- 材料:二氧化矽
- 公司:英特爾
- 實質:技術
由於二氧化矽(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能減少厚度以持續改善電晶體效能,因此過去40餘年來,處理器廠商均採用二氧化矽做為製作柵極電介質的材料。
為解決此關鍵問題,英特爾正規劃改用較厚的High-K材料(鉿hafnium元素為基礎的物質)作為柵極電介質,取代沿用至今已超過40年的二氧化矽,此舉也成功使漏電量降低10倍...
工程上根據k值的不同,把電介質分為高k(high-k)電介質和低k(low-k)電介質兩類。介電常數k >3.9 時,判定為high-k;而k≤3.9時則為low-k。IBM將low-...
英特爾45納米高k金屬柵極電晶體技術是英特爾製造電晶體的新方法,它以一種具有高...不過隨著32nm和第二代High-K工藝的成熟,英特爾將跳過45nm Havendale,直接套用工藝...
Mikolajick, Reliability of Al2O3-doped ZrO2 high-k dielectrics in 3-dimensional stacked metal-insulator-metal capacitors, J. Appl. Phys. 108[12] ...
目前,常用的方法是將金屬柵電極和high-k柵介質材料聯合使用乂來提高MOSFET器件的速度以及減小柵泄漏電流。2006年,採用high-k柵介質材料和金屬柵極的電晶體,英特爾...
“鉿基高介電常數材料與III-V族半導體基底的界面化學工程”(Interface engineering and chemistry of Hf-based high-k dielectrics on III-V substrates)的長篇綜述...
High-K Dielectric,IEEE Transactions onElectron Devices,66(9),p.3804,2016.[17] Kun Zhou,Xiaorong Luo*, Qing Xu, et al. A RESURF-Enhanced P-Channel...
現為北京大學軟體與微電子學院無錫校區能源信息工程系主任,其主要研究方向為III-V族光電組件, 太陽電池材料及組件工藝, 深次微米組件工藝及特性分析, high-K材料及...
F. Duan Top-gated graphene nanoribbon transistors with ultra-thin high-k dielectrics Nano Lett. 10, 1917, (2010).20.L. Liao, J. W. Bai, Y. Q....
50 Chen Xingbi,Huang Mingmin,A Vertical Power MOSFET with an Interdigitated Drift Region Using High-k Insulator,IEEE Transactions on Electron Devices,2012...
Chu, Plasma Nitridated High-k Polycrystalline Array Induced by Electron Irradiation, Nanotechnology, 17 (2006) 4379-43836. A. P. Huang and P. K. Chu...
2007年:基於全新45納米High-K工藝的intel酷睿2 E7/E8/E9上市。2009年:intel酷睿i系列全新推出,創紀錄採用了領先的32納米工藝,並且下一代22納米工藝正在研發。...
探索新型High-k材料在MOSFET器件中的套用,以減小器件漏電流,降低操作電壓和能耗,應對未來高性能積體電路及其他電子器件的要求。錢凌軒研究條件 編輯 ...
"High breakdown voltage AlGaN/GaN HEMT with high-K/low-K compound passivation",Electronics Letters, 51(1):104-106 (2015). (SCI)...
1.2007年獲得日本半導體MIRAI項目優秀獎,獲獎項目:“Mechanism and control for the anomalous threshold voltage variation in metal/high-k gate stack”,本人排序:...
目前的低介電常數材料K值為3.0,而在採用超低K電介質後其K值為2.4,這無疑有助於晶片整體效能的提高。高K柵介質和金屬柵電極(High-k/metal Gates)做為AMD公司...
K., Wu, F. Y., 2006. Isotopic constraints on age and duration of fluid-assisted high-pressure eclogite-facies recrystallization during exhumation of ...