由於二氧化矽(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能減少厚度以持續改善電晶體效能,因此過去40餘年來,處理器廠商均採用二氧化矽做為製作柵極電介質的材料。
基本介紹
- 中文名:High-K
- 外文名:High-K
- 材料:二氧化矽
- 公司:英特爾
- 實質:技術
由於二氧化矽(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能減少厚度以持續改善電晶體效能,因此過去40餘年來,處理器廠商均採用二氧化矽做為製作柵極電介質的材料。
工程上根據k值的不同,把電介質分為高k(high-k)電介質和低k(low-k)電介質兩類。介電常數k >3.9 時,判定為high-k;而k≤3.9時則為low-k。IBM將low-...
為解決此關鍵問題,英特爾正規劃改用較厚的High-K材料(鉿hafnium元素為基礎的物質)作為閘極電介質,取代沿用至今已超過40年的二氧化矽,此舉也成功使漏電量降低10倍...
Khigh Dhiegh是一名演員,代表作有《The Mephisto Waltz》、《飆風戰警》等。...... Khigh Dhiegh是一名演員,代表作有《The Mephisto Waltz》、《飆風戰警》等。...
80. Characteristics of the Fluorinated High-K Inter-Poly Dielectrics. C. R. Hsieh, Y. Y. Chen, K. W. Lu, G. Lin and J. C. Lou, IEEE ...
Chu, Plasma Nitridated High-k Polycrystalline Array Induced by Electron Irradiation, Nanotechnology, 17 (2006) 4379-43836. A. P. Huang and P. K. Chu...
目前的低介電常數材料K值為3.0,而在採用超低K電介質後其K值為2.4,這無疑有助於晶片整體效能的提高。高K柵介質和金屬柵電極(High-k/metal Gates)做為AMD公司...
High-K Dielectric,IEEE Transactions onElectron Devices,66(9),p.3804,2016.[17] Kun Zhou,Xiaorong Luo*, Qing Xu, et al. A RESURF-Enhanced P-Channel...
Mikolajick, Reliability of Al2O3-doped ZrO2 high-k dielectrics in 3-dimensional stacked metal-insulator-metal capacitors, J. Appl. Phys. 108[12] ...
刻蝕設備的發展和光刻技術,互連技術密切相關。High K / Low K材料,銅互連,Metal Gate,double Pattern等技術的發展都對刻蝕設備提出了新的需求·...