電弧離子鍍是由Mattox於1964年首先公開了所發明的技術。
離子鍍技術。它是在蒸發鍍膜的同時,用來源於電漿的離子轟擊膜層。多種蒸鍍離子鍍技術在70年代相繼實用化。其中有空心陰極離子鍍、熱絲電弧離子鍍和陰極電弧離子鍍。離子鍍在工業上主要用於在高速鋼刀具上鍍制TiN膜,作為耐磨硬質膜,以及在不鏽鋼製品上鍍制五N膜,作為仿金裝飾膜,並多採用陰極電弧蒸發離子鍍技術。離子鍍膜層的成核和生長所需的能量，不是靠加熱來獲得的，而是靠離子加速方式來激勵的。
參考文獻：氮化碳納米複合塗層摩擦磨損和耐水蝕研究
電弧離子鍍
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