偏壓電源（Bias power supply ）是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負（或正）偏壓。
基本介紹
- 中文名：偏壓電源
- 外文名：Bias power supply
- 定義：真空電弧離子鍍
- 套用：在鍍膜工藝中為工件提供負偏壓
作用,技術說明,
作用
1）提高真空電漿內帶電粒子的能量，轟擊清洗所鍍工件表面，使工件表面經受高能粒子撞擊後得到嶄新的表層，從而提高后續沉積膜層的結合力
2）提高並控制真空電漿內帶電粒子的能量，提高膜層與工件基體結合力
3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則，調整膜層顏色
4）克服偏壓電源工作於真空電漿環境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件
技術說明
偏壓電源工作於二級高頻變換模式，單極脈衝方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現，調壓電路具有1%的穩率。高頻變換電路產生10-90%脈衝電壓。由於電源的輸出電壓與脈衝寬度獨立調整，在滿足工藝所需電壓同時，通過改變脈衝寬度來控工件溫升。電源適用於各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。
電源功率範圍 | 10-80KW |
輸入電源 | AC380V三相四線制AC50-60HZ±10% |
輸出方式 | 脈衝 |
輸出電壓 | 0-180V 0-500V 0-1000V |
脈衝頻率 | 40KHZ |
脈衝百分比 | 10-90%連續調節 |
輸出電壓穩定率 | 預前穩壓，負載電壓10% |
冷卻方式 | 10-40KW風冷 40-80KW水冷 |
使用環境 | 環境溫度 0-40℃ 環境濕度 相對濕度≤85% 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好 |
冷卻水 | 清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa |
說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 | |
