《離子束沉積薄膜技術及套用》是國防工業出版社2003年出版的圖書，作者是劉金聲。
基本介紹
- 作者：劉金聲
- 出版社：國防工業出版社
- 出版時間：2003年1月
- 頁數：434 頁
- 定價：34.0
- 裝幀：精裝
- ISBN：9787118028829
《離子束沉積薄膜技術及套用》由國防工業出版社出版。
離子束沉積薄膜技術及套用
相關詞條
- 離子束輔助沉積技術
因此在沉積薄膜的同時，進行離子束轟擊便應運而生。因此它是離子束改性技術的重要發展，也是離子注入與鍍膜技術相結合的表面複合離子處理新技術。技術套用 優點：1.離子束輔助沉積不需在真空工作室中進行氣體放電以產生電漿，可以在< ...
- 離子束輔助沉積
離子束輔助沉積 離子束輔助沉積是2011年公布的材料科學技術名詞。定義 在氣相沉積的同時，進行離子束轟擊混合以改善薄膜性能的方法。出處 《材料科學技術名詞》。
- 反應離子束薄膜沉積設備
反應離子束薄膜沉積設備是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器，於2011年9月30日啟用。技術指標 極限真空10^-8torr,工件盤轉速0~20RPM可調,6英寸範圍內的濺射均勻性優於 /-1.5%,樣品加熱溫度300度，濺射和刻蝕雙離子源...
- 現代薄膜材料與技術
4.4.1離子束輔助沉積技術 4.4.2離子團束沉積（ICBD）4.4.3雷射複合表面處理技術 4.4.4等離子噴塗與雷射技術複合 思考題 參考文獻 5薄膜材料的表征與評價 5.1膜厚的測量與監控 5.1.1輪廓儀法 5.1.2光的干涉法 5.1.3...
- 薄膜材料與薄膜技術(第二版)
本書系統闡述了薄膜材料與薄膜技術的基本原理和基本知識，重點介紹了薄膜材料的真空製備技術、薄膜的化學製備和物理氣相沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表征，對目前廣泛研究和套用的幾種主要薄膜材料進行了介紹、評述和展望。目錄 第...
- 薄膜技術與薄膜材料(2006年清華大學出版社出版的圖書)
《薄膜技術與薄膜材料》是2006年8月1日清華大學出版社出版的圖書，作者是田民波。本書講述了薄膜及微細加工技術的套用範圍及真空技術基礎等知識。內容提要 薄膜技術與薄膜材料，書名，關於薄膜及微細加工技術的套用範圍，從大規模積體電路...
- 離子束清洗
離子束清洗是最早的離子束技術套用之一，也是所有其他清洗方法中最徹底的剝離式清洗方法。採用幾百電子伏的Ar離子束轟擊材料樣品表面，在較高真空度條件下去除表面污染層，可以達到徹底清洗的目的。離子束清洗不受材料種類的限制(金屬、絕緣...
- 薄膜技術與薄膜材料(2011年清華大學出版社出版的圖書)
6.9 分子束外延技術187 6.9.1 分子束外延的原理及特點187 6.9.2 分子束外延設備188 6.9.3 分子束外延技術的發展動向190 6.9.4 分子束外延的套用191 習題192 第7章 離子鍍和離子束沉積193 7.1 離子鍍原理及方式193 7.1...
- 真空鍍膜技術與套用
《真空鍍膜技術與套用》是一本2022年化學工業出版社出版的圖書。 內容簡介 本書系統全面地闡述了真空鍍膜技術的基本理論知識體系以及各種真空鍍膜方法、設備及工藝。對的薄膜類型、性能檢測及評價、真空鍍膜技術及裝備等內容也進行了...
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第7～10章則有選擇地介紹了當前國際上研究的幾種熱點薄膜材料的制各和檢測技術，如超低和超高介電常數薄膜、發光薄膜、超硬薄膜、巨磁電阻薄膜等，其目的是使讀者進一步了解薄膜材料的廣泛套用及其發展方向。圖書目錄 前言 第1章 薄膜...
- 類金剛石薄膜
然而, 它與工業中常用的鐵基材料存在“ 觸媒效應” ,即, 鍍的刀具在加工黑色金屬的過程中高硬度砂鍵會轉化成軟的護鍵, 使耐磨性急劇下降, 因此限制了它的套用範圍年限, 柳襄懷等採用離子束輔助沉積功技術製備出了用於滿足電磁功能要求...
- 半導體薄膜技術基礎
《半導體薄膜技術基礎》是2018年1月電子工業出版社出版的圖書，作者是李曉乾、劉勐、王奇。內容簡介 本書對當前主要套用的薄膜技術及相關設備進行了深入淺出的介紹，主要包括作為最重要的半導體襯底的矽單晶材料學、薄膜基礎知識、PVD技術、...
- 透明導電薄膜
綜上所述，國內在低溫尤其常溫下製備ITO薄膜方面研究還不夠充分、不夠全面；並且研究製備方法也比較單一，與國外有比較大的差距。近年來國外尤其日本和韓國分別在低溫沉積技術、薄膜生長機理和薄膜表面改性方面進行了深入的研究，在保證不對...
- 薄膜與塗層現代表面技術
全書共分七章，主要內容有：材料表面技術與工程概論、熱噴塗技術、材料現代表面改性技術、薄膜化學氣相沉積技術、薄膜物理氣相沉積技術、表面複合離子處理技術和材料表面微細加工技術等內容。並使實驗研究緊密結合發展套用實例，體現薄膜與塗層...
- 雷射濺射和ECR微波放電及離子源結合製備超硬薄膜
laser depotion, PLD）在高溫超導薄膜的製備上獲得成功以來，人們已嘗試用這一薄膜製備的新技術進行了各種薄膜材料的合成製備，並且PLA和多種其它激勵技術結合起來構成了多種活性源輔助的脈衝雷射沉積方法，拓展了脈衝雷射沉積技術的套用範圍...
- 離子束加工
離子束蝕刻還套用於減薄材料，製作穿透式電子顯微鏡試片。2.離子束鍍膜加工：離子束鍍膜加工有濺射沉積和離子鍍兩種形式。離子鍍可鍍材料範圍廣泛，不論金屬、非金屬表面上均可鍍制金屬或非金屬薄膜，各種合金、化合物、或某些合成材料、...
- 金剛石膜
自Asienberg和Chabotv在1979年用離子束沉積法(Ion beam deposition)製得第一片DLC薄膜以來，人們對類金剛石膜的特性、製備方法及其套用領域進行了廣泛和深入的研究，類金剛石膜產品已被廣泛套用到機械、電子、光學和醫學等各個領域。類...
- 王曦(中國科學院院士,廣東省副省長)
真空磁過濾弧沉積非晶金剛石薄膜及其在生物醫學材料領域中的套用研究 俞柳江 碩士 2000 場發射平板顯示器陽極螢光材料及器件的研究 李煒 博士 2000 SOI圓片製備技術研究 陳猛 博士 1997 真空磁過濾弧沉積薄膜合成及其性能研究 趙建平 博士 ...
- 電子迴旋共振源
這些特點不僅降低了離子源造價，而且能長期提供穩定的高品質離子束。在離子注入、離子刻蝕、薄膜技術、輻照育種、材料表面改性、離子束沉積等工農業、醫學與科研領域得到廣泛的套用。結構 結構如圖1所示電漿弧腔採用雙層結構，用去離子水...
- 李恆德(中國工程院院士、核材料科學專家)
5. 核技術在材料科學中的套用，1986，李恆德；離子注入和材料的表面改性，李恆德，124，科學出版社，1986。B．離子束及材料相互作用及套用：1. Some Experimental Studies on Metal Implantations, H.T. Li, P.S. Liu, S.C. ...
