| 中文名稱 | 離子束輔助沉積 |
| 英文名稱 | ion beam assisted deposition，IBAD |
| 定 義 | 在氣相沉積的同時，進行離子束轟擊混合以改善薄膜性能的方法。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科） |
| 中文名稱 | 離子束輔助沉積 |
| 英文名稱 | ion beam assisted deposition，IBAD |
| 定 義 | 在氣相沉積的同時，進行離子束轟擊混合以改善薄膜性能的方法。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科） |
離子束輔助沉積(lon Beam Assisted Depositon 或Ion Beam Enhanced Deposition,簡稱IBAD或IBED),是把離子束注入與氣相沉積鍍膜技術相結合的複合表面離子處理技術,也是...
中文名稱 離子束輔助沉積 英文名稱 ion beam assisted deposition,IBAD 定義 在氣相沉積的同時,進行離子束轟擊混合以改善薄膜性能的方法。 套用學科 材料科學技術...
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