納米功能複合薄膜製備系統

納米功能複合薄膜製備系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2016年9月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米功能複合薄膜製備系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年9月30日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

768 x 600 x 1782 [mm] 250 [kg]。

主要功能

提供直徑20 nm、高度40 nm、周期50 nm的納米柱陣列樣品； 提供特徵尺寸100 nm光柵結構的3英寸直徑樣品，區域內缺陷（裂紋、顆粒等）率低於0.01%； 無裂紋，無坍塌，缺陷率低於0.1%，精度誤差±20 nm。