《新一代有源光機械納米薄膜的製備及其特性研究》是依託華南師範大學，由劉進擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：新一代有源光機械納米薄膜的製備及其特性研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：劉進
- 依託單位：華南師範大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
量子光機械學是近年來發展起來的一門融合了納米加工技術，微機械學和納米光子學的綜合性交叉學科。由數億個原子組成的巨觀納米機械振子，在基礎研究領域中能夠被用來測試量子力學的基本假設和實現量子信息處理，在器件套用層面上可以用來製作各種超高靈敏度感測器。本項目擬開展（1）新一代砷化鎵光機械納米薄膜的設計與最佳化（2）新一代的砷化鎵光機械薄膜製備工藝的發展（3）基於新一代砷化鎵薄膜的光機械晶體的製備（4）光機械薄機械膜品質因子的表征。力爭弄清限制砷化鎵光機械薄膜品質因子的物理因素，探索先進納米微加工技術在砷化鎵光機械薄膜製備上的套用，製備出新一代具有超高機械品質因子的有源光機械納米薄膜和光機械晶體，為今後進一步集成半導體納米光源，形成混合光機械量子系統進而實現各種新穎的量子現象和量子信息處理提供強有力的研究平台。
結題摘要
本項目主要是使用基本半導體的薄膜型納米結構，增強光與物質相互作用，實現新型量子光學研究平台。基於此，我們設計並製備高品光學微盤，光機械晶體，並對其光學性質，機械學性質和光機械耦合性能進行了表征。為了進一步實現量子點-光機械混合系統，我們是發展出一套針對半導體薄膜結構的量子點精確光學定位技術。最後，通過晶片鍵合技術，我們實現了III-V半導體薄膜和矽基低損光子迴路的混合量子晶片。本項目基本完成了研究計畫，相關成果現已在Nature Nanotechnology, review of scientific instruments等高水平期刊審稿中。後續工作將專注於在同一晶片上集成不同多種光量子信息處理元器件，比如，光子，機械振子，超導探測器等，為多功能量子信息處理晶片打下基礎。
