《AlN薄膜的取向生長機制及其SAW特性研究》是依託北京工業大學，由王波擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：AlN薄膜的取向生長機制及其SAW特性研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：王波
- 依託單位：北京工業大學
- 批准號：10104004
- 申請代碼：A2307
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：20（萬元）
項目摘要
AlN薄膜因其性能的各向異性，對擇優取向生長AlN薄膜的製備及其性能和相關套用的研究都尤為重要。本項目著重研究AlN薄膜取向生長的機制，完善c軸平行取向生長的製備技術，並探索不同擇優取向以及晶粒在納米尺度下對薄膜各種性能特別是SAW特性的影響。同時可以獮lN納米薄膜在高性能器件上的套用提供重要的實驗數據。
