《AlN/Diamond/Si多層膜聲表面波器件及其高頻特性研究》是依託天津理工大學,由楊保和擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名:AlN/Diamond/Si多層膜聲表面波器件及其高頻特性研究
- 項目類別:面上項目
- 項目負責人:楊保和
- 依託單位:天津理工大學
- 研究期限:2006-01-01 至 2008-12-31
- 批准號:60576011
- 支持經費:22(萬元)
- 申請代碼:F0401
- 負責人職稱:教授
《AlN/Diamond/Si多層膜聲表面波器件及其高頻特性研究》是依託天津理工大學,由楊保和擔任項目負責人的面上項目。
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《AlN/Diamond/Si多層膜聲表面波器件及其高頻特性研究》是依託天津理工大學,由楊保和擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 SAW器件已成為先進電子系統的關鍵器件之一,金剛石多層膜結構的相關工作是影響我國SAW器件發展的瓶頸,亟待進一步深入研究。AIN/diamond多層膜結構SAW器件可以達到更高的頻率;相速度速度頻散很小;...
⒊ 主持完成國家自然科學基金,“AlN /Diamond/Si”多層膜聲表面波器件製備及其高頻特性研究”,2006.01-2008.12;⒋ 主持完成教育部重點項目,“摻雜金剛石膜多功能感測器研究”,2000.11-2003.11;⒌ 主持完成教育部聯合共建項目,“高頻寬頻金剛石薄膜聲表面濾波器的研究”,2003.12-2006.12;⒍ 主持完成天津市...