《AlN/自持金剛石膜結構高頻聲表面波濾波器的研製》是依託大連理工大學,由白亦真擔任項目負責人的專項基金項目。
基本介紹
- 中文名：AlN/自持金剛石膜結構高頻聲表面波濾波器的研製
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：專項基金項目
- 項目負責人：白亦真
- 批准號：61040058
- 申請代碼：F0401
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2011-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：10（萬元）
項目摘要
聲表面波（SAW）濾波器正廣泛地套用于軍事、民用等各個領域。隨著新一代通訊技術的高速發展，迫切需求高頻、高功率、低損耗SAW器件。為提高SAW濾波器的頻率，選用壓電薄膜配合高聲速基片材料是最重要和有效的解決途徑。本申請提出的AlN壓電薄膜/自持金剛石厚膜基板結構是人們可預期的能夠實現最優性能的結構。AlN具有優良的壓電性、較小的聲波損耗、高聲表面波傳播速度和較高的機電耦合係數。而金剛石是所有物質中聲傳播速度最快的材料，還具有非常高的彈性模量、最高的導熱性和優良的耐熱性。本申請提出的用自持金剛石厚膜做基片材料，具有自身突出特色。實現這樣結構需要突破高品質AlN壓電薄膜的製備和低成本、高速沉積金剛石厚膜兩個技術瓶頸。我們在金剛石膜厚膜以及AlN、GaN薄膜的製備與套用領域積累了豐富的研究經驗，已解決了高品質金剛石厚膜製備技術等關鍵難題。有這樣良好的工作基礎做保證，有信心能完成本器件的研製工作。
