納米離子束流複合沉積系統

納米離子束流複合沉積系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2008年4月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米離子束流複合沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2008年4月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

設備包括三個真空室，其中濺射室內有一對三英寸的對靶，沉積室內有一四工位離子束濺射源和一常規磁控濺射靶；濺射室和沉積室的極限真空度：≤5x10-5 Pa (經烘烤除氣後)；系統真空檢漏漏率：≤6.6x10-8 Pa.l/S；系統從大氣開始抽氣：濺射室40分鐘可達到5x10-4 Pa。

主要功能

製備金屬納米粒子及金屬納米粒子複合薄膜材料。