掩模版形狀修正

掩模版形狀修正（reticle shape correction，RSC）是通過添加一個RSC子程式，進而實現掩模形狀修正。

基本介紹

• 中文名：掩模版形狀修正
• 外文名：Reticle shapecorrection（RSC）

為了比較精確地確定掩模的形狀，RSC一般需要測量掩模版上的20個標識，然後選用5個修正參數：二階曲率（2ndordercurvature）、線性楔形修正（linearwedge）、線性捲動（linearroll）、二次楔形修正（quadraticwedge）、二次捲動（quadraticroll）來擬合這個曲面。曝光時，光刻機根據該擬合的結果來調整掃描（曝光）過程。一般來說，光刻機只需要對新的掩模做一次RSC數據收集，擬合得到的曲面供以後多次曝光使用。