掩模形狀修正

掩模形狀修正(reticle shape correction, RSC)是通過添加一個RSC子程式來實現對掩模的修正。為了比較精確地確定掩模的形狀，RSC一般需要測量掩模版上的20個標識。然後，選用5個修正參數：二階曲率（2nd order curvature）、線性楔型修正（linear wedge）、線性捲動（linear roll）、二次楔型修正（quadratic wedge）、二次捲動（quadratic roll）來擬合這個曲面。

基本介紹

• 中文名：掩模形狀修正
• 外文名：reticle shape correction

簡介

掩模安裝在光刻機的工件台（reticle stage）上後，由於重力和機械作用會有稍許彎曲。掩模的彎曲導致投影在晶圓表面的像平面的偏離（image plane deviation, IPD）。光刻機通過測量掩模上的一系列掩模形狀修正（RSC）標識的位置就可以定量地確定掩模相對於參考平面的偏離和翹曲，然後在掃描曝光時予以修正。曝光時，光刻機根據該擬合的結果來調整掃描過程。一般來說，光刻機只需要對新的掩模做一次RSC數據收集，擬合得到的曲面供以後多次曝光利用。