投影掩模版

投影掩模版是一個石英版，它包含了在矽片上重複生成的圖形，就像投影用的電影膠片的底片一樣。

基本介紹

• 中文名：投影掩模版
• 外文名：reticle

投影掩模版上的圖形可能僅包含一個管芯，也可能是幾個。投影掩模版指的是對於一個管芯或一組管芯的圖形。