掃描投影光刻機

掃描投影光刻機是利用反射鏡系統把原有圖像的整個掩模版圖形投影到矽片表面的光刻設備。

基本介紹

• 中文名：掃描投影光刻機
• 外文名：scanner

掃描投影光刻機光刻設備現在仍在較老的矽片生產線中使用，它們適用於線寬大於1微米的非關鍵層。

由於掩模版是一倍的，圖像就沒有放大和縮小，並且掩模版圖形和矽片上的圖形尺寸相同。掃描投影光刻機的一個主要挑戰是製造良好的包括矽片上所有晶片的一倍掩模版。如果晶片中有亞微米特徵尺寸，那么掩模版上也有亞微米尺寸。由於亞微米特徵尺寸的引入，這種光刻方法很困難，因為掩模不能做到無缺陷。