微波近場掃描顯微鏡及其套用

《微波近場掃描顯微鏡及其套用》是依託南京大學，由馮一軍擔任項目負責人的青年科學基金項目。

基本介紹

• 中文名：微波近場掃描顯微鏡及其套用 
• 項目類別：青年科學基金項目
• 項目負責人：馮一軍
• 依託單位：南京大學
• 批准號：69801004
• 申請代碼：F0121
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
• 支持經費：13（萬元）

項目摘要

研製能夠無損傷測量和研究樣品表面電阻率變化及空間分布的微波近場掃描顯微鏡。通過對探頭的靜態電磁場分布的理論計算分析，設計和改進探頭的結構和加工工藝，提高微波近場顯微鏡的空間解析度和電阻解析度。利用研製的微波近場掃描顯微鏡研究半導體積體電路器件、微波積體電路器件、超導薄膜電子器件等薄膜器件的質量和局域電學性質。