微波和電漿化學合成機理研究

《微波和電漿化學合成機理研究》是依託電子科技大學,由謝擴軍擔任醒目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：微波和電漿化學合成機理研究
• 依託單位：電子科技大學
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：謝擴軍
• 批准號：69571008
• 申請代碼：F0122
• 負責人職稱：副教授
• 研究期限：1996-01-01 至 1997-12-31
• 支持經費：8（萬元）

項目摘要

用軸向和徑向朗廖探針、法拉第圓筒、能量分析器和等離子鞘層探測器對微波參數進行了複合認斷，研究了微波電漿參數和工藝參數之間的關係；對圓柱波導中的介質管內填充電漿且外加有限軸向磁場時電磁波的傳播特性進行了嚴格的理論分析。得到了電磁場分量、特徵值、色散方程和復功率流的嚴格表達式。結果表明，在ECR情況下，儘管電導率張量超向無窮大，電磁波仍能傳播並發現一個真正的諧振點ω（2）=（ω（ce，2）+ω（pe2）），在引情況下任何模式的波都不能傳播；對微波有機和無機合成反慶進行了大量實驗，研究了微波能作用下物質損耗因子與溫度的關係，介質的極化作用，偶極矩與微波場的關係等對微波化學合成的作用機制。完善了一台多功能微波化學合成實驗裝置。