微波激勵大體積電漿源的研究

微波激勵大體積電漿源的研究

《微波激勵大體積電漿源的研究》是依託中國科學院合肥物質科學研究院,由梁榮慶擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:微波激勵大體積電漿源的研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:梁榮慶
  • 依託單位:中國科學院合肥物質科學研究院
  • 批准號:19875055
  • 申請代碼:A2907
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:1999-01-01 至 2001-12-31
  • 支持經費:16(萬元)
項目摘要
微波電漿源受微波自由空間波長限制,難以獲得直徑超過微波波長的大體積電漿,而大體積電漿是產業化套用的重要條件。本項目是研究利用環形波導的狹縫天線陣列激勵大體積微波電漿機理和實驗規律。對低氣壓低溫電漿套用走向產業化具有重要意義。

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