《微波ECR電漿工藝中不穩定性的機理研究》是依託華中科技大學，由劉明海擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：微波ECR電漿工藝中不穩定性的機理研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：劉明海
- 依託單位：華中科技大學
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：A2907
- 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
- 批准號：19805008
- 支持經費：8（萬元）
項目摘要
建立電漿非線性動力學現象的物理模型和數值模擬方法,找出.不穩定現象與實驗條件⒐ひ詹問淶哪讜諏?並指出抑制這.些不穩定性的有效途徑,為ECR電漿在微電子加工(刻蝕、薄膜.製備)中的工業套用提供理論參考.
