《ECR電漿中的多碳氟基團研究》是依託蘇州大學，由寧兆元擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：ECR電漿中的多碳氟基團研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：寧兆元
- 依託單位：蘇州大學
- 負責人職稱：研究員
- 申請代碼：A2907
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 批准號：10175048
- 支持經費：24（萬元）
項目摘要
研究微波ECR高碳氟C5F8電漿中巨觀參量氣壓、功率、流量和偏壓對電子密度、溫度和能量分布，多碳氟中性基團、正負離子基團的產生和行為的影響；確定控制氟化非晶碳薄膜生長的優勢基團和主要反應路徑；給出它們與膜結構、成分及電學性質、熱和化學穩定性間的關係；闡明可用於深亞微米積體電路介質層的氟化非晶碳薄膜的生長機理.
