《微機電系統概論》是2020年冶金工業出版社出版的圖書。
基本介紹
- 中文名：微機電系統概論
- 作者：邱麗芳、謝仲添
- 出版社：冶金工業出版社
- 出版時間：2020年10月15日
- ISBN：9787502480158
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書是“微機電系統”課程的配套教材，系統介紹了微機電系統的特點及套用前景、微機電系統的材料、微機電系統的加工、微機電系統的組成、微機電系統的設計及測試，重點介紹了適合於微機電系統結構設計的柔順機構和平面折展機構的分析和設計方法。各章末均附有複習思考題，便於學生掌握所學知識。
本書為高等院校機械類專業的本科生教學用書，也可供相關專業的工程技術人員和研究人員參考。
圖書目錄
1 緒論
1.1 微機電系統概述
1.2 微機電系統的發展概況
1.3 MEMS與NEMS
1.4 微米尺度及基本效應
2 微機電系統的材料
2.1 概述
2.2 結構材料
2.3 功能材料
2.4 智慧型材料
2.5 材料的選擇
2.6 新材料研究
3 微機電系統的加工
3.1 概述
3.2 薄膜層技術
3.3 犧牲層技術
3.4 刻蝕與光刻技術
3.5 LIGA技術
3.6 鍵合技術
3.7 製造工藝選擇
4 微機電系統的組成
4.1 概述
4.2 微感測器
4.3 微執行器（微致動器）
4.4 微處理器（微控制器）
4.5 微動力源（微能源）
5 MEMS中的摩擦學
5.1 MEMS系統中的摩擦學問題
5.2 MEMS系統摩擦分析方法
5.3 MEMS系統的摩擦學設計
6 微機電系統的設計
6.1 概述
6.2 尺度效應對設計的影響
6.3 微結構的力學分析
6.4 設計建模和技術
6.5 微機構（微結構）的設計和分析
6.6 MEMS CAD
7 LEMs柔順機構的設計
7.1 LEMs柔順機構概述
7.2 LEMs鉸鏈
7.3 微LEMs柔順機構的設計與分析
7.4 多層LEMs柔順機構的設計與分析
8 微機電系統的測試
8.1 MEMS測試技術概述
8.2 微機電系統的測試技術
