《微電子概論微電子概論》是2017年西安電子科技大學出版社出版的圖書，作者是肖國玲。本書適用於教學、培訓和自學。本書可作為高職微電子技術專業學生的專業教材，或其他非微電子專業學生的物聯網平台教材，也可作為其他微電子從業人員的參考書。
基本介紹
- 中文名：微電子概論微電子概論
- 作者：肖國玲
- 出版社：西安電子科技大學出版社
- ISBN：9787560645940
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
隨著微電子產業的快速發展以及國家對微電子產業的高度重視，促使更多高職畢業生投身微電子產業。本書提供微電子技術的入門級知識，全書共分為七章，具體包括微電子產業介紹、半導體分立器件和積體電路、積體電路(IC)設計、微電子製造工藝概述、微機電系統(MEMS)、光電器件以及新型半導體材料。針對微電子產業專業術語多的特點，書後附錄有積體電路常用縮略語，便於讀者及時查閱。
圖書目錄
第一章 微電子產業介紹 1
1.1 微電子的尺度 1
1.1.1 微米和納米 1
1.1.2 晶圓尺寸 2
1.1.3 特徵圖形尺寸和集成度水平 4
1.2 微電子學簡史 6
1.2.1 電晶體的誕生 6
1.2.2 積體電路的出現 11
1.2.3 微電子學的發展 13
1.3 微電子產業概述 17
1.3.1 微電子工業選用的主要材料 17
1.3.2 從沙子到積體電路(IC) 20
1.3.3 半導體產業及規模介紹 22
複習思考題 25
第二章 半導體分立器件和積體電路 26
2.1 本徵半導體和摻雜半導體 26
2.1.1 本徵半導體 26
2.1.2 摻雜半導體 30
2.2 半導體分立器件 34
2.2.1 PN結和PN結二極體 34
2.2.2 雙極型電晶體 37
2.2.3 MOS場效應電晶體 39
2.2.4 其他半導體分立器件 43
2.3 半導體積體電路 44
2.3.1 半導體積體電路的分類 44
2.3.2 半導體積體電路的性能指標 46
2.3.3 CMOS積體電路 47
2.3.4 半導體存儲器積體電路 48
複習思考題 49
第三章 積體電路(IC)設計 50
3.1 積體電路(IC)設計流程 50
3.1.1 不同功能積體電路設計過程 51
3.1.2 邏輯設計與電路設計 52
3.1.3 版圖設計與工藝設計 55
3.1.4 設計驗證與設計綜合 61
3.2 電子設計自動化(EDA) 74
3.2.1 積體電路設計工具介紹 75
3.2.2 硬體描述語言 76
3.3 專用積體電路(ASIC)設計方法 79
3.3.1 全定製設計方法 79
3.3.2 半定製設計方法 81
3.3.3 可程式邏輯設計方法 85
3.3.4 SoC設計方法 95
複習思考題 101
第四章 微電子製造工藝概述 102
4.1 矽平面工藝基本流程 102
4.2 前道工藝 104
4.2.1 薄膜製備 104
4.2.2 光刻與刻蝕 105
4.2.3 摻雜 109
4.2.4 熱處理 110
4.3 後道工藝 111
4.3.1 測試 111
4.3.2 封裝 112
4.4 整體工藝良品率 119
4.4.1 概述 119
4.4.2 良品率的制約要素 120
複習思考題 122
第五章 微機電系統(MEMS) 123
5.1 MEMS的分類 124
5.2 MEMS實例 125
5.2.1 幾種重要的MEMS器件 125
5.2.2 MEMS器件的主要製作技術和發展方向 131
5.3 NEMS 132
複習思考題 133
第六章 光電器件 134
6.1 半導體發光二極體 136
6.1.1 半導體電致發光機理 137
6.1.2 半導體發光二極體的分類和特點 137
6.1.3 半導體發光二極體的材料 139
6.2 半導體雷射器 140
6.3 光電探測器 145
6.3.1 概述 145
6.3.2 光電導探測器 147
6.3.3 光電二極體 147
6.3.4 光電電晶體 149
6.3.5 電荷耦合器件(CCD) 150
6.4 半導體太陽能電池 159
6.4.1 PN結的光生伏特效應 159
6.4.2 太陽能電池的電流-電壓特性 161
6.4.3 太陽能電池的效率 163
複習思考題 165
第七章 新型半導體材料 166
7.1 石墨烯 167
7.1.1 石墨烯的背景介紹 168
7.1.2 石墨烯的主要製備方法 168
7.1.3 石墨烯的主要分類 169
7.1.4 石墨烯的基本特性和主要套用 169
7.2 碳納米管 173
7.2.1 碳納米管的結構 175
7.2.2 碳納米管的製備方法 176
7.2.3 碳納米管的純化 178
7.2.4 碳納米管的獨特性質和相關套用 178
複習思考題 185
附錄A 國家積體電路產業發展推進綱要 186
附錄B 微電子產業常用專業辭彙表 190
附錄C 半導體公司常用辭彙一覽表 199
參考文獻 207
