場發射高分辨電子顯微鏡

場發射高分辨電子顯微鏡是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2005年8月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：場發射高分辨電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2005年8月6日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡

技術指標

性能指標：點解析度0.19 nm，線解析度0.14 nm，EELS能量譜解析度0.7 eV，EDS能量解析度136 eV。

主要功能

固體材料結構和成分分析。