化學襯底外延法

在完成對稱型嵌段共聚物薄膜的自組裝工藝開發後，需要對自組裝圖形進行誘導使其形成長程有序的圖案。具體實現方法是先在中性化襯底上製作出尺寸相對較大的誘導結構，再將旋塗嵌段共聚物進誘導結構中，進行熱退火使其沿著誘導結構形成有序分相，最終獲得所需要的平行納米線陣列圖形。

基本介紹

• 中文名：化學襯底外延法
• 外文名：Chemoepitaxy

目前國際上嵌段共聚物的誘導方法主要有“圖形結構外延法”和“化學襯底外延法”兩種。其中，化學襯底外延法是在中性層中採用一定手段製作出非中性的區域，例如圖1中的深綠色區域，該區域會優先吸引一種嵌段分布於其上，以該嵌段為基礎向外擴展延伸組裝，最終形成周期性排列的自組裝圖形。

圖1. 化學襯底外延法原理示意圖