化學分析用電子能譜

化學分析用電子能譜（ESCA;electron spectroscopy for chemical analysis），以X射線為激發光源照射分子或固體表面，激發原子中的內層電子，使其電離出去成光電子，也可激發外層價電子和能帶電子。各元素在電子能譜圖上有特徵峰，因而分析樣品發射出的光電子能譜可了解物質的組成及離子價態。

這種手段稱為X射線電子能譜(XPS)或ESCA。ESCA做表面分析有極高靈敏度。