化學分析用電子能譜法

化學分析用電子能譜法是一定能量的電子、X射線或紫外光作用於試樣表面，產生光電子。分析光電子的能量分布，得到光電子能譜。

名稱：化學分析用電子能譜法;electron spectroscopy for chemical analysis;ESCA

一定能量的電子、X射線或紫外光作用於試樣表面，產生光電子。分析光電子的能量分布，得到光電子能譜。包括兩種能譜：X射線光電子能譜（XPS）和紫外光電子能譜（UPS）。前者以能量較高的X射線作激發源，可以把電子內層電子激發成自由電子，主要用於研究試樣表面組成和結構；後者以紫外光作激發源，只能激發原子的價電子，是研究量子化學等的重要手段。有時把X射線光電子能譜就稱為ESCA。