3D光學表面輪廓儀

3D光學表面輪廓儀是一種用於機械工程領域的物理性能測試儀器，於2017年9月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D光學表面輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2017年9月26日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

縱向掃描範圍：150 μm精密壓電陶瓷掃描，20mm擴展掃描；表面形貌重複性：＜0.2nm；RMS重複性：0.01nm；採用 3D非接觸式測量。

主要功能

Zygo Newview型3D光學表面輪廓儀可以實現測試範圍從小於1納米到20000微米, NewView輪廓儀幾乎可以測量任何表面的形貌，從亞埃級的超光滑表面，到高達85度的大坡度機械件，全部採用3D、非接觸式測量，克服了探針式、共聚焦、聚焦掃描其它測量技術的缺點。