白光干涉3D表面輪廓儀

白光干涉3D表面輪廓儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2018年9月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：白光干涉3D表面輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年9月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

1、白光干涉垂直掃描技術要求：垂直掃描範圍：0-150m（壓電陶瓷掃描）縱向解析度：0~150um範圍內≤0.1nm 2、擴展掃描範圍：150um~15mm（步進電機掃描） 3、基於2技術要求的全部範圍和條件下，測試能力要求達到：可測量超光滑表面，Ra測試精度≤0.1nm，可測量表面類型：透明、不透明；鍍膜、非鍍膜；反射、低反射。

主要功能

測量顯示樣品二維或三維形貌，測量粗糙度，測量台階高度。