高級顯影系統

高級顯影系統是一種用於數學領域的分析儀器，於2004年03月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：高級顯影系統
• 產地：奧地利
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2004年03月01日
• 所屬類別：分析儀器

技術指標

EVG101C勻膠機功能設定：旋轉卡頭和移動噴頭旋轉卡盤：真空吸盤 轉速O-10000min適用襯底尺寸：2 4PC軟體控制塗膠過程控制參數：卡盤轉速[rpm] 塗膠時間[s]用於樣品光刻膠塗敷。

主要功能

自動顯影 誤差小，顯影效果好。