光刻顯影曝光系統

光刻顯影曝光系統是一種用於能源科學技術領域的工藝試驗儀器，於2018年02月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：光刻顯影曝光系統
• 產地：美國
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2018年02月28日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 電加工工藝實驗設備

技術指標

相比於其他工藝技術，該套系統具有解析度高，重複性好，圖案化豐富等優點，針對於背接觸太陽電池和異質結背接觸太陽電池的指交叉圖案，可得到優良的工藝效果。

主要功能

光刻顯影曝光系統用於背接觸太陽電池背面指交叉圖案的製備。包含塗膠勻膠、烘烤、單面曝光和顯影等功能單元的整套光刻顯影曝光系統。