離子注入技術:把摻雜劑的離子引入固體中的一種材料改性方法。簡單地說,離子注入的過程,就是在真空系統中,用經過加速的,要摻雜的原子的離子照射(注入)固體材料,從而在所選擇的(即被注入的)區域形成一個具有特殊性質的表面層(注入層)。
基本介紹
- 中文名:離子注入技術
- 屬性:一種材料改性方法
- 基本特點:6方面
- 技術原理:離子和損傷的分布大體為高斯分布
- 發展歷程:作為半導體材料摻雜技術發展起來
- 性能:其耐腐蝕性相當於相應合金的性能
離子注入技術:把摻雜劑的離子引入固體中的一種材料改性方法。簡單地說,離子注入的過程,就是在真空系統中,用經過加速的,要摻雜的原子的離子照射(注入)固體材料,從而在所選擇的(即被注入的)區域形成一個具有特殊性質的表面層(注入層)。
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