陰極沉積

中文名稱陰極沉積
英文名稱cathodic deposition
定  義真空室中只有陰極和陽極,陰極上裝有被濺射材料,利用高電壓下兩極間氣體自持放電的濺射沉積技術。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們