真空沉積技術是真空鍍膜。真空氣相沉積是利用熱蒸發或輝光放電、弧光放電等物理過程，在基材表面沉積所需塗層的技術。
基本介紹
- 中文名：真空沉積技術是真空鍍膜
它包括真空蒸發鍍膜、離子鍍膜和濺射。
另外，引入反應氣體 ( O2, N2, CH4, B2H6, H2S, …)可以在低溫條件下生成氧化物，氮化物，碳化物，硼化物等化合物 。
PEMSTM 技術
本公司套用PEMSTM（電漿增強磁控濺射）技術進行真空沉積。它相對於傳統的真空沉積技術既可以獲得高密度、高結合力的塗層，又能在低溫下進行處理，從而不影響零件的基體性能。
此技術尤其適應於建立降低摩擦系係數和抗磨損性的超硬金屬陶瓷沉積層。
採用陰極弧方式沉積的塗層表面 採用PEMSTM技術沉積的塗層表面
主要優點有：
被處理材料範圍很廣（金屬，陶瓷，聚合物，玻璃）；
塗層均勻，成分精確；
一機多用，可在多種模式下運行：
-PVD (物理氣相沉積) 形式
-PECVD（電漿增強化學氣相沉積）形式
-建立複合沉積層（例如：TiN+DLC）
操作簡單，電腦全自動控制沉積過程，穩定性好；
工藝靈活，根據客戶具體要求，方便的對準程式進行調整，最佳化沉積層質量.；
沉積前，在爐內自動對零件和靶材同時進行清洗，以保證得到高結合力和成份準確的沉積層。
塗層
塗層 硬度（HV） 減少摩擦的程度 抗熱氧化 顏色
CERTESSTM X ** ** **
CERTESSTM N * * ***
CERTESSTM Ti ** * **
CERTESSTM SD **** ** ***
CERTESSTM C *** * **
CERTESSTM T ** * ****
CERTESSTM DLC * **** *
用*號多少表示程度高低
優點
與其他鍍層或表面處理方法相比，真空氣相沉積具有以下特點：
鍍層材料廣泛，可以各種金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物鍍層，也可以鍍金屬、化合物的多層和複合層；
鍍層結合力強；工藝溫度低，工件一般無受熱變形或材料變質的問題；鍍層成分準確、組織緻密；
工藝過程由電參數控制，易於控制、調節；
對環境無污染。
套用
機械摩擦件:
汽車：活塞、活塞環、軸、氣門搖臂、噴油器、挺桿
液壓機械：進氣閥、閘門旋塞
醫療器械：人造骨膜、手術器械
紡織：線導套
其他：滑輪、滑閥、軸承、齒輪、支架
精密機械零件
工具：
各種材料的壓印、衝壓模具
研磨材料的切割刀具
塑膠的壓注和模壓成型的擠壓模具
機械加工（鑽孔、銑削、攻絲 、車削…）刀具
