鍍膜儀

鍍膜儀是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年12月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：鍍膜儀
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年12月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

真空度 ≤7×10-3 mbar 工作距離 30mm～100mm 濺射電流 0-150mA可調 樣品倉 140mm（寬）×145mm（深）×150mm（高）。

主要功能

主要用於掃描電鏡前處理；利用離子濺射鍍金屬膜來增加樣品的導電性，以便減少電鏡觀察時產生的荷電，並增強二次電子或背散射電子信號，獲得更好的信噪比。