精密離子束刻蝕鍍膜儀

精密離子束刻蝕鍍膜儀是一種用於物理學領域的科學儀器，於2015年11月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：精密離子束刻蝕鍍膜儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2015年11月6日

技術指標

濺射速度0.1nm/s，面積1inch，支持多種金屬和介質靶材。

主要功能

納米級別金屬鍍膜。