真空蒸發鍍膜儀

真空蒸發鍍膜儀

真空蒸發鍍膜儀是一種用於化學、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2016年06月01日啟用。

基本介紹

  • 中文名:真空蒸發鍍膜儀
  • 產地:英國
  • 學科領域:化學、材料科學
  • 啟用日期:2016年06月01日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

系統的極限壓強可達≤2x10-7Torr;三組熱阻蒸發源;可儲存100個工藝,1000層,50種薄膜;最大轉速可達20轉/分鐘;最高加熱溫度不低於350℃。

主要功能

真空蒸發鍍膜是一種由物理方法產生薄膜材料的技術。該設備被廣泛套用於在基底上製備均勻材料薄膜,從而對基底表面進行改性。

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